真空泵配件結(jié)構(gòu)簡單，制造精度要求不高，容易加工。
　　結(jié)構(gòu)緊湊，泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高，一般可與電動(dòng)機(jī)直聯(lián)，無須減速裝置。故用小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。
　　壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。
　　由于泵腔內(nèi)沒有金屬磨擦表面，無須對(duì)泵內(nèi)進(jìn)行潤滑，而且磨損很小。轉(zhuǎn)動(dòng)件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。
　　吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，操作簡單，維修方便。