真空泵配件結構簡單，制造精度要求不高，容易加工。
　　結構緊湊，泵的轉數較高，一般可與電動機直聯，無須減速裝置。故用小的結構尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。
　　壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。
　　由于泵腔內沒有金屬磨擦表面，無須對泵內進行潤滑，而且磨損很小。轉動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。
　　吸氣均勻，工作平穩可靠，操作簡單，維修方便。